半导体加工工艺及其它薄膜加工工艺过程中,各类光刻胶的等离子去除,去除材料表面污染物,保证与其他材料的结合能力。
除胶之外,微波等离子还有什么应用?
FC封装微波等离子处理
金属键合前处理
晶圆表面活化
技术壁垒高,危机和机遇并存
技术壁垒较高,美、日、韩品牌形成垄断
绝大部分品牌外购微波半导体等离子发生器
价格昂贵
交付周期超过半年
服务无法及时响应
sindin自主研发 掌控技术
国内首家自主研发微波半导体去胶发生器技术;
磁流体旋转架,保证处理效果均匀;
微波无放电电极,高效均匀,保证刻蚀率;
低温等离子体,避免产生热损伤;
自偏压要求低,微波结和磁路可以兼容。
技术+服务+性价比 实现国产替代
技术保障
微波半导体去胶发生器技术,并可提供双电源技术(MW+Bias RF)解决客制化问题。
服务保障
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研发实力
专业的半导体研发团队,并拥有多位十五年以上半导体从业经验的高级工程师。
华南理工大学等离子技术联合实验室,多位教授担任项目技术顾问;
四川大学半导体项目战略合作伙伴;
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客制化方案
多行业龙头客制化方案经验;
产品全面,可满足不同客制化需求。
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一站式服务
销售、技术、售后项目组一站式服务;
专业有素的售后服务团队辐射全国及海外。
降本30%以上,性价比高,产品完全符合行业